第三百零九章 28纳米自主可控 (第3/3页)
8纳米工艺产能的最大动力。
但是和以往扩充产能，都清一色采用进口设备不一样，今年开始智云微电子扩充28纳米工艺产能的时候，开始大量采用了国产设备。
也就是海湾科技所生产的HDUV-400型光刻机，同时附带的其他一些配套设备。
海湾科技提供的HDUV-400光刻机，在经过持续数月的改进后，已经能够把套刻精度稳定在五点五纳米的水准，这个水准已经足以大规模量产28纳米工艺，良率能够控制在一个比较高的水平，做到商业化生产。
如此情况下，智云微电子自然是大规模采购，并用于量产。
四月份，智云重新上市，其六千七百亿美元的市值再一次震惊世人的时候，智云旗下的智云微电子旗下，首条采用国产光刻机以及多种核心设备的28纳米工艺产线也正式投产，开始量产28纳米工艺芯片。
这意味着，国内的28纳米工艺开始自主可控，不需要担心外人卡脖子了。
同样也意味着海湾科技的HDUV-400型光刻机已经成熟，尤其是套刻精度上大有进步。
对于光刻机而言，最关键的参数有两个，一个是光源波长，比如DUV干式光刻机，则是193纳米的波长，而DUV浸润式光刻机，同样的光源下经过水的折射，可以把光源波长缩小到134纳米。
然后另外一个关键参数就是套刻精度，套刻精度有很多个说法，一般在量产工艺里使用的是MMO，也就是不同设备之间的套刻精度。
这个数据直接关系到大规模量产情况下的最小制程，良率等一系列关系性能，通常来说，只有满足五点五纳米的套刻精度，才能够实现28纳米工艺的大规模量产。
不然的话，勉强使用良率会非常低，成本高昂，不具备商业使用价值。
至于更进一步的18纳米以及十四纳米，甚至十纳米工艺这些，这就需要使用双重曝光技术，这对套刻精度要求更高，要求能够达到三点五纳米的套刻精度……
这也是为什么说十八纳米工艺节点有些尴尬的原因，因为用来生产十八纳米的光刻机，它也能用来生产十四纳米。
同样的设备，我为啥不生产十四纳米工艺的芯片？
但是再往下的七纳米，这就需要使用四重曝光，这对套刻精度提出了更进一步的要求，常规来说需要达到二点五纳米的套刻精度，如此才能够让良率稳定在一定的水准。
如果套刻精度不足的光刻机，强行采用四重曝光生产七纳米芯片，良率会非常低，成本非常高昂，除非特殊情况，不然没人这么干的。
而海湾科技目前的目标，就是进一步缩小套刻精度，争取做到二点五纳米的水准，然后满足七纳米的生产需求。
不过这也挺难的，这可是实打实的物理极限的提升，每一纳米的套刻精度提升都是无比艰难的。
当然，二点五纳米套刻精度的光刻机，现在海湾科技还搞不出来，甚至三点五纳米套刻精度的光刻机，现在也磕磕绊绊，还得继续琢磨，估计下半年才能小批量供货测试，大规模量产使用，那都得明年去了。
但是，现在的五点五纳米套刻精度的HDUV-400光刻机，却是已经成熟可用了……智云微电子那边都用这款光刻机，大规模投产二十八纳米工艺的芯片了。
如果是用来生产三十二纳米工艺，四十纳米工艺或四十五纳米工艺这些更成熟的工艺，那就更不用说了，小菜一碟！
甚至都可以来上一句性能过剩。
智云微电子那边，开始使用HDUV-400光刻机进行投产，这个消息，让业内不少关注国产光刻机的其他芯片厂商看了大为动心。
他们也想要这种便宜好货，来大幅度降低先进工艺的资金投入啊。
海湾科技的光刻机，虽然整体性能差了点，比不过ASML的光刻机，但是人家卖的便宜啊，不仅仅售价便宜，后续的维护费用也便宜。
这就让很多资金不是很充裕的晶圆厂很动心！
反正他们也没什么野心搞更先进的双重曝光，玩什么十八纳米，十四纳米工艺，他们就想玩个四十五纳米工艺，撑死了再搞个二十八纳米工艺。
这个海湾科技的HDUV-400光刻机，已经很充分了。
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不久后，中芯方面也随后正式宣布，他们采购的首台量产型HDUV400光刻机已经进入产线，并投入四十纳米工艺储存芯片的生产。
同时他们还准备利用这一款光刻机，来筹建第二条28纳米工艺产线。
国内的其他芯片制造厂商看了，就更加坐不住了……国内半导体领域里的老大和老二都已经开始用了，我们也要用啊！
于是纷纷找到了海湾科技，希望他们加速供货。
对此，海湾科技方面是欢喜无比的同时也苦不堪言……这HDUV-400光刻机的订单太多，而他们的产能也是有限的，短时间里根本无法提供这么多的光刻机。
但是有太多人找上门来，还各种找关系说人情，把海湾科技方面的人给弄的都怕了。
光刻机这东西，又不是大白菜，海湾科技也只是个负责系统整合的组装厂商而已，很多时候都不是他们想要提升产能就能提升产能的，得后头一大串的供应商都提升产能才行。
比如核心的镜片。
别看只是镜片，但是它却是一台光刻机里的核心零部件，而这种超高精度的镜片的加工极其困难，复杂，南方光学里加工这种超高精度的镜片的产能是极为有限的。
这些镜片，都是由业内最顶级的工程师，操作离子束抛光机等顶级先进设备，然后一点一点加工出来的。
整个生产过程的工艺极其复杂。
这产能自然也是有限的，这第一年里能够给海湾科技提供个四十多套的镜片，那就已经是加班加点的成果了，再多……那是不可能的。
南方光学也需要时间来采购，安装，调试更多的先进设备，培养更多的顶级工程师。
这第一年能够弄你手搓出来四十多套的镜片，那已经是拼了老命的结果。
拿着这些镜片，海湾科技撑死了也就只能造出来四十多台HDUV-400光刻机，而实际上还不行，还得留一批镜片用于试产套刻精度更高，更先进的HDUV-500光刻机，也就是套刻精度达到三点五纳米，可以进行二次曝光，用于生产十八纳米、十四纳米芯片的光刻机。
最后今年能够提供的HDUV-400光刻机，撑死了也就四十套。
这些光刻机，大客户智云微电子就要拿走一大半，然后第二大客户中芯要拿走一小半。
剩下的个位数产能给其他厂商分，各厂商也分不到多少的。
为了解决先进光刻机产能问题，徐申学在五月份初的时候前往海湾科技，并在这里召见了仙女山控股体系下的各光刻机子系统供应商的子公司们。
数十家子公司的负责人齐坐一堂，然后徐申学坐在上头坐镇，署理整个生产环节所遇到的问题，问题该如何解决。
期间，南方光学方面的镜片产能，是最大的短板，更是需要重点解决。
整个HDUV-400光刻机项目里，其他子系统都还好，部分子系统的供应商负责人表示，哪怕今年他们都能做一两百套子系统出来。
但是南方光学这边，镜片就只有四十多套，针对这个问题，徐申学和南方光学的负责人说过了后，后头更是到隔壁小会议室里和南方光学带过来的核心技术团队进行了一番沟通。
搜集了一些他们所反馈的问题，遇到的一些难题。
最后发现，真正的难题不在于资金，也不在于工程师的培养进度，更主要的还是部分核心设备的供应不足，如离子束抛光机这一关键设备，供应商提供的数量极少，根本不够用。
对此，徐申学表示问题不大，虽然这个关键设备可不是仙女山控股体系下的，甚至都不是常规企业所提供的，而是某个科研机构提供的。
但是徐申学的人脉关系也不是南方光学这边所能相提并论的。
很快，他就打了几个电话出去，和对方研究机构的负责人聊了聊，最后对方表示，会让一群技术人员加班加点，争取再多做几套出来。
当然，徐申学也是投桃报李，立即表示智云集团这边还有个材料研究项目，准备找研发机构进行合作，预定研发经费十个亿。
这不刚好，也不找其他研究所了，就找你们合作了。
研究所的负责人当即表示：我们正准备来个大干一百天，多弄几套离子束抛光机出来，为国产光刻机的大规模量产添砖加瓦。
数天后，智云这边，则是派出了一个合作团队前往该研究所，准备一起合作搞很玄学的材料研发……
徐申学手底下各种公司的材料研发项目多了去，而且材料研发比较玄学，大多情况下，运气比实力更重要。
所以和谁合作其实关系不是很大，徐申学搞这些对外合作材料研发的时候，都是看谁顺眼就把经费投给谁。
反正大部分都是打水漂的，最后除了点可有可无的论文外，实际成果毛都没有。
这些年来，徐申学早已经习惯了，所以现在他对材料研发这种事讲究的就是一个随缘……淡定的很。
砸出成果来了，那叫意外之喜。
没有砸出成果来，那才叫常态！